熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)缺點(diǎn)有哪些
發(fā)布時(shí)間：2022-12-28 21:07:05來(lái)源：hseauto.cn來(lái)源：..
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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用傳熱原理檢測(cè)流量的儀表。20世紀(jì)60年代，美國(guó)首先為宇航業(yè)所需氣體質(zhì)量控制開(kāi)發(fā)出熱質(zhì)流量計(jì)，其后應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的制造設(shè)備上，得到很大發(fā)展，后又?jǐn)U展到其他工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。近年還在工業(yè)應(yīng)用上從測(cè)量氣體擴(kuò)大到測(cè)量液體。
一、熱質(zhì)氣體質(zhì)量流量計(jì)的工作原理
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測(cè)量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻（RTD）組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測(cè)氣體中時(shí)，其中傳感器RH被加熱，另一個(gè)傳感器RMG用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律，加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與質(zhì)量流量Q有確定的數(shù)學(xué)關(guān)系式。 P/△T=K1+K2 f（Q）K3 K1、K2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)獨(dú)特的溫度差測(cè)量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量氣體流量時(shí)因氣體中含水、油和雜質(zhì)而造成的很大的零點(diǎn)漂移，導(dǎo)致無(wú)法測(cè)量的弊端。
（一）優(yōu)點(diǎn)：
1、精度高，不需溫壓補(bǔ)償。由測(cè)量原理可知，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)得的是流體（氣體）質(zhì)量流量，不需溫壓補(bǔ)償，精度可達(dá)±1%FS，可以貿(mào)易結(jié)算；
2、安裝、維護(hù)成本低。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，一般不需維護(hù)，如果需要維護(hù)，可以實(shí)現(xiàn)在線不停產(chǎn)插拔維護(hù)；
3、特別適合大管徑、低流速場(chǎng)合。插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)用在大口徑管道性?xún)r(jià)比高；
4、量程比大。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)量程比可達(dá)100：1，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)流量測(cè)量下限極低，幾乎從零開(kāi)始測(cè)量，這是其它類(lèi)型氣體流量計(jì)所無(wú)法比擬的；
5、壓損小。熱式氣體流量計(jì)幾乎無(wú)壓力損失。
?。ǘ┤秉c(diǎn)：
1、在應(yīng)用中，氣體夾雜液體會(huì)使儀表讀數(shù)偏大，當(dāng)探頭上液體被吹干后，讀數(shù)恢復(fù)正常；
2、如果氣體中含有粉塵和水汽，氣體溫度下降后，粉塵和水將會(huì)凝混在一起，污染探頭，影響熱量的傳遞，使測(cè)量結(jié)果偏低。
3、在一些兩相流，多相流中，混合氣比重的變化，對(duì)測(cè)量值也會(huì)有影響。所以，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)不適用介質(zhì)中含大量的水份，介質(zhì)組分不穩(wěn)定，含雜質(zhì)粉塵較多的場(chǎng)合。
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